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    晶圓基礎介紹

    從晶圓的基本結構、製造流程到電性檢測,協助新進員工快速建立正確的作業概念。

    什麼是晶圓?

    晶圓(Wafer)是製造積體電路的重要基板,通常以高純度矽製成。晶圓表面會經過薄膜沉積、曝光、蝕刻、離子佈植等精密製程,形成大量微小電路;切割後,每一小塊就是一顆晶粒(Die)。

    主要材質高純度單晶矽
    常見尺寸200 mm/300 mm
    核心用途承載積體電路
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    晶圓如何製造

    STEP 01

    矽晶生長

    將高純度矽形成單晶晶棒,建立穩定的晶體結構。

    STEP 02

    切片研磨

    將晶棒切成薄片,研磨並拋光至平整鏡面。

    STEP 03

    電路成形

    透過薄膜、曝光與蝕刻,逐層建立微型電路。

    STEP 04

    晶圓檢測

    以探針與測試設備確認晶粒的電性與功能。

    STEP 05

    切割封裝

    將合格晶粒切割、封裝,再進行最終測試。

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    認識晶粒與檢測目的

    晶粒(Die)

    晶圓表面由許多獨立晶粒組成。每顆晶粒包含特定功能的電路,切割封裝後可成為晶片。

    接點導通檢測

    確認探針與晶粒接點能否正常傳輸電流,避免接觸不良或開路。

    斷路檢測

    檢查電路是否存在不正常斷路,確保訊號路徑具備連續性。

    短路與漏電檢測

    確認線路間沒有異常導通、短路或超出規範的漏電情形。

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    檢測結果怎麼看

    已通電

    測試條件下電流傳輸正常,系統判定該次檢測符合預定結果。

    通電失效

    測試結果未符合預定條件,可能涉及接觸、開路、短路或漏電異常,應依流程留下紀錄。

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