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晶圓基礎介紹
從晶圓的基本結構、製造流程到電性檢測,協助新進員工快速建立正確的作業概念。
什麼是晶圓?
晶圓(Wafer)是製造積體電路的重要基板,通常以高純度矽製成。晶圓表面會經過薄膜沉積、曝光、蝕刻、離子佈植等精密製程,形成大量微小電路;切割後,每一小塊就是一顆晶粒(Die)。
主要材質高純度單晶矽常見尺寸200 mm/300 mm核心用途承載積體電路1晶圓如何製造
STEP 01矽晶生長
將高純度矽形成單晶晶棒,建立穩定的晶體結構。
STEP 02切片研磨
將晶棒切成薄片,研磨並拋光至平整鏡面。
STEP 03電路成形
透過薄膜、曝光與蝕刻,逐層建立微型電路。
STEP 04晶圓檢測
以探針與測試設備確認晶粒的電性與功能。
STEP 05切割封裝
將合格晶粒切割、封裝,再進行最終測試。
2認識晶粒與檢測目的
晶粒(Die)
晶圓表面由許多獨立晶粒組成。每顆晶粒包含特定功能的電路,切割封裝後可成為晶片。
接點導通檢測
確認探針與晶粒接點能否正常傳輸電流,避免接觸不良或開路。
斷路檢測
檢查電路是否存在不正常斷路,確保訊號路徑具備連續性。
短路與漏電檢測
確認線路間沒有異常導通、短路或超出規範的漏電情形。
3檢測結果怎麼看
已通電測試條件下電流傳輸正常,系統判定該次檢測符合預定結果。
通電失效測試結果未符合預定條件,可能涉及接觸、開路、短路或漏電異常,應依流程留下紀錄。
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